（空氣過(guò)濾器）
20世紀90年代初，國外曾對高效過(guò)濾器玻纖濾紙的含硼問(wèn)題爭吵了一陣，隨后，過(guò)濾器的微量揮發(fā)元素成了芯片廠(chǎng)關(guān)注的事情。粘在集成電路上的粉塵可能造成斷路、短路，粉塵直接影響產(chǎn)品的成品率。當今，半導體工業(yè)（芯片廠(chǎng)）對生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈程度高挑剔，對空氣過(guò)濾器的要求也最苛刻。
近幾年，國外出現了聚四氟乙烯纖維高效過(guò)濾材料，這種材料沒(méi)有揮發(fā)物，但它是帶靜電的“駐極體”，少了個(gè)隱患，多了個(gè)麻煩，過(guò)濾后的空氣要進(jìn)行電中和以消除空氣中的離子。目前這種材料的價(jià)格偏高，大部分過(guò)濾器仍使用玻璃纖維濾紙。過(guò)濾器上可能的微量揮發(fā)元素主要來(lái)源于粘結劑和清洗劑，為芯片廠(chǎng)供貨的過(guò)濾器廠(chǎng)商要在這上面下些功夫。
衡量芯片集成度的指標之一是“線(xiàn)寬”，即電路上導線(xiàn)的寬度。在以微米計算線(xiàn)寬的年代，人們說(shuō)制造環(huán)境對粉塵粒徑的限制是小于線(xiàn)寬的1/10，隨著(zhù)線(xiàn)寬不斷變小，1/10之說(shuō)又變成了1/4、1/2。2002年，普通微機中P4處理器的線(xiàn)寬縮小到了0.13mm，此時(shí)任何粉塵都可能損害電路，粒徑與線(xiàn)寬的傳統比較已經(jīng)過(guò)時(shí)了。
芯片廠(chǎng)傳統的通風(fēng)形式是“大循環(huán)”，車(chē)間的整個(gè)天花板上布滿(mǎn)高效過(guò)濾器，整個(gè)地面為回風(fēng)柵板。現在芯片廠(chǎng)有些車(chē)間使用自帶風(fēng)機的過(guò)濾裝置，即FFU。大循環(huán)和FFU兩種形式都能達到足夠的潔凈度，只是在運行管理和能耗上有所差異。
不論是普通高效過(guò)濾器還是FFU，出廠(chǎng)前都要經(jīng)過(guò)逐臺掃描測試。國內目前沒(méi)有掃描測試方法標準，能擠進(jìn)芯片廠(chǎng)的過(guò)濾器廠(chǎng)家是按歐美標準對過(guò)濾器進(jìn)行掃描測試的。芯片廠(chǎng)的人認為，過(guò)濾器傳統檢驗方法用的試驗粉塵本身就是污染源，所以芯片廠(chǎng)不買(mǎi)鈉焰法和DOP法的帳。
空氣中的海鹽粒子是所有電子工業(yè)的大敵，但空氣中海鹽粉塵的顆粒比較大，普通過(guò)濾器就能將其過(guò)濾掉。有人說(shuō)搞電子工業(yè)的理想地點(diǎn)應該遠離海岸，可沿海地區經(jīng)濟發(fā)達，芯片廠(chǎng)一窩蜂似的就建在了沿海地區，在過(guò)濾器上多花點(diǎn)錢(qián)就是了。
當今的過(guò)濾技術(shù)可以將潔凈室的粉塵濃度降到近乎為零，你想要多干凈都能達到。當芯片上的線(xiàn)寬小到0.5mm時(shí)，人們發(fā)現空氣中的化學(xué)污染物成了影響成品率的主要危害，于是，在線(xiàn)寬小于0.5mm的芯片廠(chǎng)空調系統中普遍配置了化學(xué)過(guò)濾器。化學(xué)過(guò)濾器的原理和制造工藝并不復雜，它就是活性炭過(guò)濾器，但傳統的活性炭過(guò)濾器制造廠(chǎng)和軍工廠(chǎng)沒(méi)有搭上芯片廠(chǎng)這班車(chē)，芯片廠(chǎng)的化學(xué)過(guò)濾器大都是空調過(guò)濾器的制造廠(chǎng)家提供的。
化學(xué)污染物的來(lái)源可能是：室外空氣、工藝本身、人、裝修材料。多數情況下，設計師和現場(chǎng)人員也說(shuō)不清污染物的種類(lèi)和濃度，因此，為他們提供的化學(xué)過(guò)濾器至少應具有兩個(gè)特點(diǎn)：廣譜吸附性能、足夠多的活性炭材料。
所謂廣譜吸附就是對什么都能多少吸附些，能有這種功能的就是最普通、最便宜的顆粒活性炭。如果能確定污染物種類(lèi)，就可以對活性炭材料進(jìn)行有針對性的化學(xué)處理，以增強對特定污染物的吸附能力。過(guò)濾器供應商有時(shí)還要提供相應的現場(chǎng)檢測服務(wù)，以幫助用戶(hù)確定化學(xué)過(guò)濾器的使用情況，這就要求供應商中有搞化學(xué)過(guò)濾的專(zhuān)家，并與名氣大的化學(xué)實(shí)驗室有密切的關(guān)系。
半導體工業(yè)并非人們普遍認為的“無(wú)煙工業(yè)”，它也有環(huán)境問(wèn)題。那里經(jīng)常采用最新的工藝和材料，有些化學(xué)物品在其安全性尚未得到評估前就已經(jīng)大量使用了，稍不小心就會(huì )造成嚴重的化學(xué)污染，既有地下水污染，也有空氣污染，硅谷就曾為此付出過(guò)驚人的代價(jià)。為了保險，有些企業(yè)在排風(fēng)系統中也使用化學(xué)過(guò)濾器。
遺憾的是，國內過(guò)濾器廠(chǎng)商沒(méi)有幾家在那上面下功夫，所以國內芯片廠(chǎng)目前使用的化學(xué)過(guò)濾器多數是進(jìn)口產(chǎn)品。中國正處在新一輪芯片廠(chǎng)建設的狂熱中，為此，今后幾年國內需要數億元的高效過(guò)濾器和化學(xué)過(guò)濾器，如果國內過(guò)濾器商家像以往那樣只熱衷于抄襲、猜疑、各顧各地瞎忙活，不在技術(shù)上進(jìn)取、不相互交流，芯片廠(chǎng)這個(gè)難得的市場(chǎng)將屬于外來(lái)者。
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